半导体气体过滤器

半导体空气过滤器对应不同的过滤需求：用于颗粒物过滤：

这是洁净室的主体过滤设备，用于拦截空气中的尘埃、微粒。它的核心是HEPA（高效） 或ULPA（超高效） 滤芯。

1. • 核心滤料：主流材质是超细玻璃纤维，通过折叠成型，具有效率高、容尘量大的特点。PTFE（聚四氟乙烯）多孔膜是更高端的选择，因其纤维更细、阻力更低、不易产生化学污染，在高端制程中应用越来越广。

   • 效率等级：对0.3微米（HEPA）或0.1微米（ULPA）级别的颗粒物，过滤效率可达99.97%至99.999997% 以上。随着芯片制程微缩，对颗粒的控制要求已达纳米级。